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薄膜熱封試驗儀?具有以下特點： 結(jié)構(gòu)緊湊合理，系統(tǒng)可靠性高； 小型化設(shè)計，應(yīng)用方便； 熱封參數(shù)微電腦控制，試驗 數(shù)字溫度控制系統(tǒng)，控溫高精度； 器件精選，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠；